Atomfab, piyasadaki en hızlı remote plazma üretim ALD sistemidir.

  • Rekabetçi Maliyet
  • Hızlı, kolay bakım
  • Mükemmel film homojenitesi
  • Yüksek malzeme kalitesi
  • Düşük alttaş hasarı
  • Daha hızlı çevrim süreleri, yüksek verim
  • Kümelenebilir ve otomatik wafer işleme