PRIMELINE serisi, CLEANSORB Dry bed atık gaz bertaraf sistemleri ailesinin tam özellikli versiyonunu temsil eder. Sistem, özellikle Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOCVD) uygulamaları başta olmak üzere, güvenlik açısından kritik olan proses uygulamalarının gaz akışlarını ve ilgili çalışma koşullarını yönetmek üzere tasarlanmıştır.

Daha az yer kaplayan CLEANSORB PS modellerinde, ana absorber kartuşun kapasitesi tükendikten sonra bile üretimin tamamlanmasına izin veren bir yedek kartuş bulunur. Daha büyük CLEANSORB PD modeli, iki tam boyutlu emici kartuş ve bir yedek kartuş içerir; bir ana kartuş, tam SEMI-S2 uyumlu güvenlik koruması ile aktif egzoz gazı absorber olarak kalabilirken, ikinci kartuş yeniden doldurma için kabinden çıkarılmadan önce bağımsız olarak temizlenebilir.

Avantajlarınız:

  • AsH3, PH3 veya GeH4 gibi kritik MOCVD gazları için özel CLEANSORB® kimyasal emici ortam
  • Yüksek akışlı silikon ve III-V epitaksiyel proseslerin güvenli termal yönetimi için optimize edilmiştir
  • Kızılötesi sıcaklık izleme ve soy gazla soğutma gibi benzersiz güvenlik işlevleri
  • Otomatik çalıştırma rutinleri ile dokunmatik ekran kontrolü (PD modeli)
  • Yedekli güvenlik özelliklerine sahip SEMI-S2 uyumlu versiyon olarak mevcuttur