OXFORD İyon demeti aşındırma (IBE) ve biriktirme (IBD) sistemi, yüksek kaliteli malzeme işleme için popüler bir seçimdir. Sistemlerimiz, açık yükleme, tek alttaş yükleme haznesi ve kasetten kasete yükleme dahil olmak üzere esnek donanım seçeneklerine sahiptir. Sistem özellikleri, uygulamalara göre ayarlanarak daha hızlı ve tekrarlanabilir proses sonuçları sağlanabilir.

  • Çoklu mod özelliği
  • Diğer plazma aşındırma ve kaplama sistemleri ile küme entegrasyonu
  • Tek wafer yükleme veya küme wafer işleme
  • Dual-Beam konfigürasyonu
  • Çok düşük film yüzey pürüzlülüğü
  • Yüksek batch homojenliği ve proses tekrarlanabilirliği
  • Doğru uç nokta tespiti – SIMS, optik emisyon
  • Ultra düşük kirlilik için yüksek kaliteli ince film
  • Düşük işletme maliyeti için azaltılmış cihaz boyutu ile yüksek verim
  • Patentli yüksek hızlı alttaşlı tutucu (500 RPM’ye kadar)
  • Çok hassas entegre optik film kontrolü