MICROTECH’in LaserWriter sistemi, 0.6 µm’ye kadar maksimum çözünürlüklerin gerekli olduğu uygulamalarda düzlemsel geometrilerin tanımlanması ve yüzey teşhisi için tasarlanmıştır. Sistem, bir lazer ışınını fotolitografik maske üretimi için veya düzlemsel yüzeyler üzerinde doğrudan yerinde işleme için kontrollü bir yazma aracına dönüştürür. Mikrolitografik uygulamaların yanı sıra, optik aparatı ve alt tabaka hareket yönetimi de yüzey denetimi veya teşhis için çok uygundur. Dolayısıyla, aynı makine önce bir model üretmek için ve daha sonra sonuçları incelemek için kullanılabilir. Desenler, hedefin (maske veya substrat) odaklanmış ve tarama lazer ışınının altında uygun dalga boyuyla doğru bir şekilde hareket ettirilmesiyle oluşturulur. Sistemin performansı ve maliyeti, araştırma ve geliştirme veya küçük / orta ölçekli üretimler için optimize edilmiştir.

LaserWriter’ın uygulama alanları:

Mikroelektronik
Entegre Optik
Kırınım Optikleri
Mikromekanik
Mikrokriyojenik
Hibrit devreler
Düz panel ekranlar
Mikrodalga Tümleşik Devreler (MIC’ler)
MultiChip Modülleri (MCM)
Fotovoltaik
Fotoelektrokimya

Her uygulama için uygun LaserWriter yapılandırması seçilebilir ve özelleştirilebilir.

Pattern Generator Mikrolitografi için bir LaserWriter sisteminin şirket içinde veya araştırma merkezlerinde bulunması şu anlama gelir:
- yeni prototipler geliştirirken maske maliyetlerini düşürmek;
- minimum maske yapma süreleri (maskeler, desenleme bittikten sadece birkaç dakika sonra mevcuttur);
- olası maskelerin ve maske hizalayıcısının ortadan kaldırılması. Tek veya düşük miktarlı prototipler için, doğrudan nihai alt tabaka üzerine çizim yapmak uygun olabilir. Bu olasılık, bir maske hizalayıcı kullanımı için uygun bir temiz oda mevcut olmadığında da kârlıdır: doğrudan yazma, daha az alt tabaka işleme ile sonuçlanır, bu da mikro kirlenmeden kaynaklanan kusurların azalmasına sebeb olur.

Satın almak ve bakımını yapmak pahalı mı? LaserWriter’ın temel özellikleri rekabetçi fiyat ve güvenilirliktir. Bunlar, yıllarca bakım gerektirmeyen kullanım için sistemi özelleştirerek ve tüm bileşenlerini dikkatlice seçip konfigüre ederek elde edilir. LaserWriter, araştırma ve geliştirme uygulamaları ve küçük / orta ölçekli üretimler için tasarlanmış ve optimize edilmiştir. LaserWriter’ın bakım maliyetleri de çok düşüktür. Sistem, birkaç yıllık kullanımda neredeyse sıfır bakım gerektirecek şekilde tasarlanmıştır. Tabii ki, lazer kaynağının doğal yaşlanması kaçınılmazdır, ancak yenileme zamanı kolayca tahmin edilebilir ve lazer değişimi tipik olarak birkaç dakikadır. 

Daha fazla bilgi için tıklayınız.