PlasmaPro 100 Cobra ICP Etch, hızlı aşındırma ve kaplama oranları elde etmek için yüksek yoğunluklu plazma kullanır. İşlem modülleri, 200 mm’ye kadar olan wafer boyutları için mükemmel homojenlik, yüksek verim, yüksek hassasiyet ve düşük hasarlı prosesler sunar.

Sistemlerimiz, geliştirilmiş proses çözümleri ile yüksek hacimli üretim (HVM) için yüksek tercih edilme oranlarına sahiptir. PlasmaPro 100 Cobra, MEMS ve sensörler, GaAs ve InP lazer optoelektronik, SiC ve GaN güç elektroniği ve RF dahil olmak üzere geniş bir teknoloji alanında kullanılmaktadır.

  • Geniş sıcaklık aralığı elektrotu, -150°C ila 400°C
  • 200 mm’ye kadar tüm wafer boyutlarıyla uyumlu
  • Wafer boyutları arasında hızlı değişim
  • Düşük sahip olma maliyeti ve servis kolaylığı
  • Kompakt boyut, esnek yerleşim
  • In-situ hazne temizleme