PECVD proses modülleri, kırılma indisi, stres, elektriksel özellikler ve ıslak kimyasal aşındırma oranı gibi film özelliklerinin kontrolü ile mükemmel homojenlik ve yüksek oranlı filmler üretmek için özel olarak tasarlanmıştır.

  • Yüksek kaliteli filmler, yüksek verim, mükemmel homojenlik
  • Geniş sıcaklık aralığı elektrotu
  • 200 mm’ye kadar tüm wafer boyutlarıyla uyumlu
  • Wafer boyutları arasında hızlı değişim
  • Düşük sahip olma maliyeti ve servis kolaylığı
  • 400°C veya 1200°C’ye kadar kapasiteye sahip dirençli ısıtmalı elektrotlar
  • In-situ hazne temizleme