Semiconductor & Cleanroom Gas Delivery Solutions

Yarı İletken Gaz Altyapı Çözümleri

Ultra Saf Gaz Hatları, Orbital Kaynak, Gaz Kabinleri & Scrubber Sistemleri

SEMITECH Yarı İletken Teknolojileri A.Ş., yarı iletken üretim tesisleri, AR-GE merkezleri ve ileri teknoloji laboratuvarları için uçtan uca gaz altyapı çözümleri sunmaktadır.

Ultra saf gaz hatlarından başlayarak, tehlikeli gaz yönetimi, otomatik / yarı otomatik gaz kabinleri, gaz sensörleri ve atık gaz bertaraf (scrubber) sistemleri dâhil olmak üzere tüm gaz altyapısı, uluslararası yarı iletken standartlarına uygun şekilde anahtar teslim olarak tasarlanır, kurulur ve devreye alınır.

Semitech, kendi orbital kaynak teknolojisi ve uzman saha ekibi ile projelerini doğrudan uygular.

Hizmet Kapsamımız

Ultra Saf Gaz Hatları (UHP Gas Delivery)

• Yarı iletken prosesleri için ultra saf gaz borulama sistemleri
• Silan (SiH₄), Amonyak (NH₃), Hidrojen (H₂), Azot (N₂), Argon (Ar) ve özel proses gazları
• Cleanroom uyumlu tasarım ve montaj
• AR-GE, pilot hat ve üretim tesislerine uygun çözümler

Tüm hatlar, düşük partikül, yüksek saflık ve maksimum proses güvenliği esas alınarak projelendirilir.

Orbital Kaynak (Orbital Welding)

Semitech bünyesinde bulunan orbital kaynak makineleri ve deneyimli kaynak ekibi ile:

• SS 316L / UHP grade borulama
• Yüksek tekrarlanabilirlik ve proses kararlılığı
• Minimum partikül ve sızıntı riski
• Kaynak parametrelerinin kayıt altına alındığı izlenebilir üretim

Orbital kaynak süreçleri, yarı iletken gaz sistemleri için gerekli yüksek kalite ve güvenilirlik standartlarını karşılayacak şekilde uygulanır.

Gaz Kabinleri (Hazardous Gas Cabinets)

Semitech, tehlikeli ve reaktif gazlar için:

• Tam otomatik gaz kabinleri
• Yarı otomatik gaz kabinleri

tedarik eder ve sistemleri gaz hattı ve proses ekipmanlarıyla tam entegre olacak şekilde projelendirir.

Gaz kabini sistemleri şunları kapsar:

• Gaz kaçak dedektörleri
• Otomatik purge ve vent fonksiyonları
• Basınç ve akış izleme
• Acil durum shut-off sistemleri
• SEMI uyumlu güvenlik mimarisi

Amaç, operatör güvenliği ve proses sürekliliğini en üst seviyede sağlamaktır.

Atık Gaz Bertaraf Sistemleri (Scrubber)

Yarı iletken proseslerinden çıkan toksik ve tehlikeli gazların güvenli şekilde bertarafı için Semitech, CS Clean firması ile iş birliği içinde scrubber çözümleri sunar.

• Wet Scrubber
• Dry / Hybrid Scrubber
• Proses gazına özel konfigürasyonlar

Scrubber sistemleri, gaz kabinleri ve proses ekipmanlarıyla entegre çalışacak şekilde tasarlanır ve devreye alınır.

Entegre Gaz Altyapısı Yaklaşımı

Semitech’in temel farkı, gaz altyapısını tek bir sistem olarak ele almasıdır:

• Ultra saf gaz hatları
• Orbital kaynaklı borulama
• Gaz kabinleri
• Gaz sensörleri
• Scrubber sistemleri
• Proses ekipman entegrasyonu

Bu entegre yaklaşım sayesinde:

• Güvenlik riskleri minimize edilir
• Uluslararası denetimlere hazır altyapı kurulur
• Proses sürekliliği ve operasyonel verimlilik sağlanır

Neden Semitech?

• Gaz hattı + gaz kabini + scrubber için tek sorumlu firma
• Yarı iletken proseslerini bilen mühendislik ekibi
• Kendi orbital kaynak altyapısı
• Oxford Plasma Systems gibi global ekipmanlarla entegrasyon deneyimi
• Türkiye’de hızlı servis ve sürdürülebilir teknik destek

Semitech, yalnızca ekipman sağlayan bir firma değil; yarı iletken gaz altyapısında güvenilir çözüm ortağınızdır.

İletişim & Proje Desteği

Gaz altyapı çözümleri, tehlikeli gaz yönetimi ve anahtar teslim projeler hakkında detaylı bilgi almak için bizimle iletişime geçebilirsiniz.