FlexAL atomik katman biriktirme (ALD) sistemi, kullanılan prekürsörler, proses gazları ve tek bir proses odası ile geniş bir konfigürasyonunda maksimum esneklik ile optimize edilmiş yüksek kaliteli plazma ALD ve termal ALD prosesleri sunar.
FlexAL atomik katman biriktirme (ALD) sistemi, kullanılan prekürsörler, proses gazları ve tek bir proses odası ile geniş bir konfigürasyonunda maksimum esneklik ile optimize edilmiş yüksek kaliteli plazma ALD ve termal ALD prosesleri sunar.
Category: OXFORD ALD
FlexAL atomik katman biriktirme (ALD) sistemi, kullanılan prekürsörler, proses gazları ve tek bir proses odası ile geniş bir konfigürasyonunda maksimum esneklik ile optimize edilmiş yüksek kaliteli plazma ALD ve termal ALD prosesleri sunar.
FlexAL atomik katman biriktirme (ALD) sistemi, kullanılan prekürsörler, proses gazları ve tek bir proses odası ile geniş bir konfigürasyonunda maksimum esneklik ile optimize edilmiş yüksek kaliteli plazma ALD ve termal ALD prosesleri sunar.