Jipelec JetLight

Annealsys 2-inch RTA System – Gelişmiş Hızlı Termal İşlem Çözümleri

Annealsys RTA System, yarı iletken ve malzeme araştırma uygulamaları için tasarlanmış yüksek performanslı Rapid Thermal Annealing (RTA) sistemidir. Bu sistem, malzemelerin kısa süreli yüksek sıcaklıkla işlenmesi için üstün kontrollü termal çevrimler sağlar ve implant tavlama, ohmik temas aktivasyonu, hızlı termal oksidasyon (RTO) gibi kritik proseslerde yüksek verim sunar.

Uygulama Alanları

Annealsys RTA System ile gerçekleştirilebilecek başlıca süreçler:

• Rapid Thermal Annealing (RTA) – Hızlı termal tavlama işlemleri
• Implant Annealing – İyon implantasyon sonrası aktivasyon
• Ohmic Contact Annealing – Ohmik temas tavlama
• Rapid Thermal Oxidation (RTO) – Hızlı termal oksidasyon
• Malzeme yoğunlaştırma ve kristalizasyonu
• Dopant difüzyonu kontrolü
• Diğer ileri yarı iletken ve nanoteknoloji prosesleri

Öne Çıkan Özellikler

• Yüksek sıcaklık yeteneği: Quartz tüplü işlem odası ve yüksek hızlı halojen IR lambalarla 1000°C’ye kadar işlemler.
• Kompatibilite: Küçük numunelerden 2-inch çapına kadar malzemeleri güvenle işleyebilir.
• Vakum ve gaz kontrolü: Geniş proses atmosfer seçenekleriyle (inert, oksitleyici veya vakum) hassas işlem kontrolü sağlar.
• Kolay kullanım: Yatay açılır kapı ve quartz tepsi sayesinde numune yükleme/çıkarmada kolaylık ve hızlı termokupl kurulumu.
• Araştırma ve geliştirme odaklı: Üniversiteler, AR-GE laboratuvarları ve küçük ölçekli üretim tesisleri için ideal tasarım.

Avantajlar ve Katma Değer

• Hızlı ısınma ve soğuma: Kısa çevrim süreleri sayesinde üretim verimliliğini artırır.
• Yüksek tekrarlanabilirlik: PID kontrollü sıcaklık yönetimiyle proses güvenilirliği sunar.
• Geniş proses yelpazesi: RTA, RTO gibi çok yönlü ısıl işlemler sayesinde farklı materyal türlerine uyumlu.
• Temiz oda uyumlu: Küçük ayak izi ve kompakt tasarım, temiz oda ortamlarında uygulanabilirliği kolaylaştırır.

Neden Annealsys RTA System?

Annealsys ürünleri, dünya çapında mikroelektronik, malzeme bilimi ve ileri üretim alanlarında tercih edilen güvenilir hızlı termal işlem ekipmanları arasında yer alır. RTA System, hem eğitim hem de profesyonel araştırma projelerinde yüksek performans ve hassasiyet sağlar.