Vakum Komponentleri

Semiconductor Vacuum Components & Solutions

SEMITECH Yarı İletken Teknolojileri A.Ş., yarı iletken üretim tesisleri, AR-GE merkezleri ve ileri teknoloji laboratuvarları için yüksek performanslı vakum komponentleri tedarik etmektedir.

İnce film kaplama, etch, litografi ve proses ekipmanlarında kritik rol oynayan vakum sistemleri için sunulan tüm komponentler, yüksek sızdırmazlık, düşük partikül oluşumu ve proses uyumluluğu esas alınarak seçilmektedir.

Ürün Grupları

Vakum Fitting & Bağlantı Elemanları

• KF, ISO, CF bağlantı standartları

• Paslanmaz çelik ve UHV uyumlu malzemeler

• Düşük sızıntı ve yüksek mekanik dayanım

Vakum Valfleri

• Manuel ve pnömatik vakum valfleri

• Gate valve, angle valve, butterfly valve

• Proses ve otomasyon uyumlu çözümler

Vakum Ölçüm & İzleme Komponentleri

• Vakum sensörleri ve gauge’lar

• Pirani, capacitance manometer, cold cathode

• Proses kontrolüne uygun ölçüm hassasiyeti

Sızdırmazlık & Sarf Komponentleri

• O-ring ve metal gasket’ler

• UHV ve yüksek sıcaklık uyumlu malzemeler

• Uzun ömür ve proses güvenliği

Vakum Hatları & Aksesuarlar

• Vakum hortumları ve rijit hat çözümleri

• Filtreler ve partikül tutucu sistemler

• Proses ekipmanlarına entegre çözümler

Uygulama Alanları

• ALD, PVD, PECVD sistemleri

• ICP-RIE ve plazma etch ekipmanları

• Vakumlu fırınlar ve load-lock sistemleri

• MEMS ve sensör üretimi

• Compound semiconductor prosesleri

Kalite & Standartlar

Semitek tarafından tedarik edilen vakum komponentleri:

• UHV ve HV proses gereksinimleri

• SEMI ve ISO standartları

• Düşük outgassing ve yüksek sızdırmazlık

kriterlerine uygun olarak seçilmektedir.